[发明专利]一种聚焦离子束显微镜机台

说明书

本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台，其包括：电镜镜头、腔室以及交换仓；腔室的底部设置有观测台，在观测台上固定连接有支撑台，电镜镜头垂直贯穿腔室的顶部，且与支撑台正对；交换仓贯穿腔室的侧壁且固定在交换仓上，交换仓设置有开孔，且开孔正对支撑台；交换仓中设置有样品台、样品底座以及操纵杆，操纵杆与样品台之间卡扣连接，样品底座与样品台之间固定连接；样品底座上设置有第一凹槽，且第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形。本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台可以支持扫描电子显微镜的放样方式，可以直接当作扫描电子显微镜的机台使用。

技术领域

本发明涉及测试分析技术领域，尤其涉及一种聚焦离子束显微镜机台。

背景技术

近年来TFT-LCD显示面板在电视机、手机、Pad等消费型电子产品上得到广泛应用。其拥有高亮度、饱色域、高饱和度、大视角等特点，为消费者提供良好的视觉体验，市场前景广阔。随着移动设备持有量爆发式增长，手机屏的需求也逐年增长，手机屏的生产数量及品质要求也相应亟待提高。

TFT-LCD手机屏结构包括：TFT(Thin Film Transistor)基板，TFT基板上主要为线路、晶体管、有机层等各膜层，主要负责电信号传输；CF(Color Filter，滤光片)基板，也称为彩色滤光片，其上的红(R)、绿(G)、蓝(B)色阻可以提供显示所需的色彩，使显示面板显示出彩色的画面；TFT和CF基板四周会以框胶粘连，中间会填充液晶。

手机屏在生产制造过程中会产生大量微观异常，比如膜层断裂、膜层异物等需要电子显微镜做分析，另外生产过程中产品的膜厚、线宽、角度等也需要电子显微镜协助量测以确认参数是否符合要求。

LCD行业一般使用的电镜有两种：SEM(扫描电子显微镜)及FIB(聚焦离子束显微镜)，其中原理上FIB兼有SEM功能，但是厂商一般设计思路为，SEM进行膜层参数量测，FIB进行异常分析。FIB设备默认样品水平放置，而SEM要求样品垂直或倾斜放置，故原有样品底座不支持SEM放样方式，导致FIB设备的原厂机构设置并不支持直接进行SEM方式量测数据。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台，可以直接当作扫描电子显微镜的机台使用。

本发明提供的一种聚焦离子束显微镜机台，包括：电镜镜头、腔室以及交换仓；

所述腔室的底部设置有观测台，在所述观测台上固定连接有支撑台，所述电镜镜头垂直贯穿所述腔室的顶部，且正对所述支撑台；

所述交换仓贯穿所述腔室的侧壁且固定在所述交换仓上，所述交换仓设置有开孔，且所述开孔正对所述支撑台；

所述交换仓中设置有样品台、样品底座以及操纵杆，所述操纵杆与所述样品台之间卡扣连接，所述样品底座与所述样品台之间固定连接；

所述样品底座上设置有第一凹槽，且所述第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形。

优选地，所述支撑台与所述电镜镜头之间的距离为17～27毫米。

优选地，所述开孔的横截面为矩形。

优选地，所述样品底座为圆盘状，且所述样品底座的底面直径范围为50～55毫米。

优选地，所述样品底座通过螺丝与所述样品台固定连接。

优选地，当所述第一凹槽的横截面为倒梯形时，所述第一凹槽的侧边与上底边之间的夹角范围为35～90度。

优选地，所述第一凹槽的底部宽度范围为10～35毫米。

优选地，所述开孔的横截面的长度范围为55～65毫米，宽度范围为31～41毫米。

优选地，所述支撑台上设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述样品台正对，且所述第二凹槽的宽度不小于所述样品底座的底面直径。