[发明专利]自动换靶装置的使用方法有效
| 申请号： | 201710607841.2 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107267931B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张荣生 | 申请（专利权）人： | 利辛县诚创科技中介服务有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 11530 北京华识知识产权代理有限公司 | 代理人： | 乔浩刚<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 236700 安徽省亳*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动换靶装置，应用于电子束蒸发镀膜设备，包括以下步骤：(1)实时推进靶材：当蒸镀工艺在进行时，推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进；(2)自动换靶材：由第三伺服电机带动靶材盘旋转，将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合，推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材，然后卡门打开，推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合，推进机构则停止；(3)向靶材盘内推入替换靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动换靶装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)实时推进靶材：当蒸镀工艺在进行时，推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进；/n(2)自动换靶材：当蒸镀时消耗完一个靶材后，与靶容器相对应结合的靶材盘上的第一靶材腔则空了，第一靶材腔内的感应器则发出提示，待蒸镀工艺结束后，电子束枪关闭、卡门关闭，由卡门托住靶容器内的靶材，推进平台则向下移动，当下移到靶材盘的下方后，由第三伺服电机带动靶材盘旋转，将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合，推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材，然后卡门打开，推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合，推进机构则停止；/n(3)向靶材盘内推入替换靶材：上推机构启动，真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门打开，靶材盘的托台打开，第一伺服电机带动上推平台上移，则将上推平台上的备用靶材上移至靶材盘中没有靶材的第一靶材腔内；靶材盘的托台则关闭托住靶材，第一伺服电机则带动上推平台向下移动至备用靶材腔内的原始位置，真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门关闭。/n
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