[发明专利]一种开放式光罩存储装置

摘要

本发明公开了一种开放式光罩存储装置，包括存储箱体，所述存储箱体一侧的下部为敞口结构，该敞口结构的正上方设有出风口，由该出风口流出的气流向下运动，形成气墙并覆盖所述敞口结构；所述存储箱体内的上部设有化学过滤器、风机和空气过滤器；所述存储箱体内的下部设有至少1层光罩承载架，光罩承载架的外侧临近所述敞口结构，光罩承载架的内侧与存储箱体构成回风通道。本发明通过将存储箱体一侧的设计为敞口结构，通过该敞口结构进行光罩的拿取和存放，从而避免了现有技术中门的存在而带来的搬运不便的问题。

主权项

一种开放式光罩存储装置，其特征在于：包括存储箱体(1)，所述存储箱体一侧的下部为敞口结构，该敞口结构的正上方设有出风口(7)，由该出风口流出的气流向下运动，形成气墙并覆盖所述敞口结构；所述存储箱体内的上部设有化学过滤器(8)、风机(3)和空气过滤器；所述存储箱体内的下部设有至少1层光罩承载架(9)，光罩承载架的外侧临近所述敞口结构，光罩承载架的内侧与存储箱体构成回风通道(10)；从空气过滤器出来的洁净气体由出风口向下运动，部分洁净气体流经光罩承载架进入所述回风通道，回风通道的出口与所述化学过滤器、空气过滤器连通，从而形成气流循环。