[发明专利]一种开放式光罩存储装置

权利要求书

1.一种开放式光罩存储装置，其特征在于：包括存储箱体(1)，所述存储箱体一侧的下部为敞口结构，该敞口结构的正上方设有出风口(7)，由该出风口流出的气流向下运动，形成气墙并覆盖所述敞口结构；

所述存储箱体内的上部设有化学过滤器(8)、风机(3)和空气过滤器；所述存储箱体内的下部设有至少1层光罩承载架(9)，光罩承载架的外侧临近所述敞口结构，光罩承载架的内侧与存储箱体构成回风通道(10)；

从空气过滤器出来的洁净气体由出风口向下运动，部分洁净气体流经光罩承载架进入所述回风通道，回风通道的出口与所述化学过滤器、空气过滤器连通，从而形成气流循环；

所述存储箱体内的光罩承载架为多层，从上到下，各层光罩承载架的外侧向外伸出的长度逐渐增加。

2.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述存储箱体上还设有新鲜空气补入口(11)。

3.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述存储箱体内的上部依次设有化学过滤器、风机和空气过滤器。

4.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述存储箱体内还设有温度控制装置(12)。

5.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述存储箱体内的光罩承载架为多层，光罩承载架的内侧设有复数个通风口以与所述回风通道连通；且从上到下，各层光罩承载架上的通风口的总面积逐渐变小。

6.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述空气过滤器为超高效空气粒子过滤器。

7.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述出风口流出的气流方向平行于所述敞口结构所在的平面。

8.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：所述出风口处的外侧设有引流板(14)，引流板与出风口的外侧壁之间形成引流口，由出风口流出的主气流和引流口流出的引气流一同形成气墙。

9.根据权利要求1所述的开放式光罩存储装置，其特征在于：从所述出风口流出的气流的流速与所述敞口结构的高度之比为3~4 m/s：1.5~2.5 m。