[发明专利]具有可交换极片延伸元件的带电粒子显微镜在审
| 申请号： | 201710599599.9 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107785220A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | B.塞达;L.图马;P.赫拉文卡;M.恩科斯基;R.瓦斯纳;J.特罗杰克;M.马亚佐兹 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周学斌,张涛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；‑ 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射而从该样本放射的辐射通量，其中，‑ 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可交换 延伸 元件 带电 粒子 显微镜 | ||
【主权项】：
一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；‑ 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射从该样本放射的辐射通量，其特征在于：‑ 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。
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