[发明专利]一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201710598816.2 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107267930A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张治国 | 申请（专利权）人： | 张治国 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司11407 | 代理人： | 彭丽芳 |
| 地址： | 362000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法，包括如下步骤将二氧化钛粉末(颗粒)放在模具里加压，压制成致密的块状物后，取出，置于刚玉盒内，24h后放入烧结炉中，在一定的温度下烧结成型；打开机器将靶材放入铜质坩埚内，将清洗干燥后的石英玻璃卡入载片盘，将电子束蒸发台的钟罩抽成真空，投入氢气或氮气清洗钟罩，加热石英玻璃片，用电子束轰击靶材，并且控制好蒸发速率即可。本发明所得薄膜具有很高的稳定性、光透过率和电导率，且所使用的原材料价格极为低廉，满足透明导电薄膜高透光率，高电导，价格低廉的基本要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电子束 蒸发 技术 tio2 透过 电导率 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将二氧化钛粉末(颗粒)放在模具里加压，压制成致密的块状物后，取出，置于刚玉盒内，24h后放入烧结炉中，在一定的温度下烧结成型；S2、打开机器将靶材放入铜质坩埚内，将清洗干燥后的石英玻璃卡入载片盘，将电子束蒸发台的钟罩抽成真空，投入氢气或氮气清洗钟罩，加热石英玻璃片，用电子束轰击靶材，并且控制好蒸发速率即可。
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