[发明专利]一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器

摘要

一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，它涉及电容式真空传感器领域。本发明为了解决现有的真空计存在体积过大、重量过重，且无法满足火星等深空探测活动中的真空测量需求，且电容薄膜真空计的小型化会使仪器本身的线性、重复性和稳定性均受到影响，在保证测量准确度的同时难以保证深空探测需求的载荷小型化问题。本发明的上电极安装在下电极上，吸气剂置于上电极的第一环形槽内，金属膜片置于上电极和下电极的中间位置，上电极引脚插装在上电极的第二通孔内，共用电极引脚插装在上电极的第一通孔内，下电极引脚插装在下电极的第四通孔和上电极的第三通孔内。本发明用于完成真空压力的测量。

主权项

1.一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：它包括下电极引脚(1)、上电极(2)、吸气剂(3)、共用电极引脚(4)、金属膜片(5)、下电极(6)、焊料(7)和上电极引脚(8)；上电极(2)的下表面(11)上加工第一环形槽(1‑1)，第一环形槽(1‑1)的内径与上电极(2)之间形成第一硬质中心(1‑2)，第一硬质中心(1‑2)的厚度小于上电极(2)的厚度，上电极(2)的下表面(11)上分别加工第一通孔(1‑3)、第二通孔(1‑4)和第三通孔(1‑5)，第一通孔(1‑3)位于第一环形槽(1‑1)上，第二通孔(1‑4)和第三通孔(1‑5)均位于第一环形槽(1‑1)外径与上电极(2)外径之间的凸台上，第一通孔(1‑3)、第二通孔(1‑4)和第三通孔(1‑5)围绕上电极(2)的纵向轴线呈120°均匀分布；下电极(6)的上表面(42)上加工第二环形槽(6‑1)，第二环形槽(6‑1)的内径与下电极(6)之间形成第二硬质中心(6‑2)，第二硬质中心(6‑2)的厚度小于下电极(6)的厚度，下电极(6)的上表面(42)上分别加工第四通孔(6‑3)和第五通孔(6‑4)，第四通孔(6‑3)位于第二环形槽(6‑1)外径与下电极(6)外径之间的凸台上，第五通孔(6‑4)的中心与第二环形槽(6‑1)的内径重合，第四通孔(6‑3)和第五通孔(6‑4)的中心在下电极(6)的同一半径方向上；上电极(2)安装在下电极(6)上，上电极(2)的下表面(11)与下电极(6)的上表面固接，上电极(2)的第一环形槽(1‑1)与下电极(6)的第二环形槽(6‑1)相对设置，吸气剂(3)置于上电极(2)的第一环形槽(1‑1)内，金属膜片(5)插装在上电极(2)和下电极(6)之间，第一通孔(1‑3)上安装与其匹配的上电极引脚(8)，上电极引脚(8)与吸气剂(3)的上端面接触，上电极引脚(8)通过焊料(7)与上电极(2)固接，第二通孔(1‑4)上安装与其匹配的共用电极引脚(4)，共用电极引脚与金属膜片(5)接触，共用电极引脚(4)通过焊料(7)与上电极(2)固接，第三通孔(1‑5)与第四通孔(6‑3)的轴线位于同一条直线上，第四通孔(6‑3)内安装与其匹配的下电极引脚(1)，下电极引脚(1)的另一端插装在第三通孔(1‑5)内，下电极引脚(1)通过焊料(7)与下电极(6)固接。