[发明专利]一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器

权利要求书

1.一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：它包括下电极引脚(1)、上电极(2)、吸气剂(3)、共用电极引脚(4)、金属膜片(5)、下电极(6)、焊料(7)和上电极引脚(8)；

上电极(2)的下表面(11)上加工第一环形槽(1-1)，第一环形槽(1-1)的内径与上电极(2)之间形成第一硬质中心(1-2)，第一硬质中心(1-2)的厚度小于上电极(2)的厚度，上电极(2)的下表面(11)上分别加工第一通孔(1-3)、第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)，第一通孔(1-3)位于第一环形槽(1-1)上，第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)均位于第一环形槽(1-1)外径与上电极(2)外径之间的凸台上，第一通孔(1-3)、第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)围绕上电极(2)的纵向轴线呈120°均匀分布；

下电极(6)的上表面(42)上加工第二环形槽(6-1)，第二环形槽(6-1)的内径与下电极(6)之间形成第二硬质中心(6-2)，第二硬质中心(6-2)的厚度小于下电极(6)的厚度，下电极(6)的上表面(42)上分别加工第四通孔(6-3)和第五通孔(6-4)，第四通孔(6-3)位于第二环形槽(6-1)外径与下电极(6)外径之间的凸台上，第五通孔(6-4)的中心与第二环形槽(6-1)的内径重合，第四通孔(6-3)和第五通孔(6-4)的中心在下电极(6)的同一半径方向上；

上电极(2)安装在下电极(6)上，上电极(2)的下表面(11)与下电极(6)的上表面固接，上电极(2)的第一环形槽(1-1)与下电极(6)的第二环形槽(6-1)相对设置，吸气剂(3)置于上电极(2)的第一环形槽(1-1)内，金属膜片(5)插装在上电极(2)和下电极(6)之间，第一通孔(1-3)上安装与其匹配的上电极引脚(8)，上电极引脚(8)与吸气剂(3)的上端面接触，上电极引脚(8)通过焊料(7)与上电极(2)固接，第二通孔(1-4)上安装与其匹配的共用电极引脚(4)，共用电极引脚与金属膜片(5)接触，共用电极引脚(4)通过焊料(7)与上电极(2)固接，第三通孔(1-5)与第四通孔(6-3)的轴线位于同一条直线上，第四通孔(6-3)内安装与其匹配的下电极引脚(1)，下电极引脚(1)的另一端插装在第三通孔(1-5)内，下电极引脚(1)通过焊料(7)与下电极(6)固接。

2.根据权利要求1所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：上电极(1)和下电极(4)均为陶瓷电极。

3.根据权利要求2所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：上电极(2)的下表面(11)和下电极(6)的上表面(42)上均镀有金属涂层。

4.根据权利要求3所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：上电极(2)的第一环形槽(1-1)的尺寸与下电极(6)的第二环形槽(6-1)的尺寸一致。

5.根据权利要求4所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：上电极(2)与下电极引脚(1)之间存在间隙。

6.根据权利要求1或5所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：上电极(2)、金属膜片(5)、上电极引脚(8)和共用电极引脚(4)形成真空密封腔。

7.根据权利要求1所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：焊料(7)为银铜焊料。

8.根据权利要求1所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：金属膜片(5)为镍基合金膜片。

9.根据权利要求1所述的一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器，其特征在于：吸气剂(3)为固态非蒸腾型吸气剂。