[发明专利]一种太赫兹波段的慢光器件及其制作有效
| 申请号： | 201710585798.4 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107390447B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 赵振宇;陈桠娜;周重仪;兰银燕;方志云 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;H01P7/00;H01P7/08;H01P11/00 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 周云 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种太赫兹波段的慢光器件，具体指一种在聚酰亚胺衬底上，加工一组特定几何结构的周期性电磁谐振单元阵列，实现该波段上电磁脉冲的群速度延迟的无源器件，涉及太赫兹的慢光器件技术领域。本发明利用类表面等离子体干涉相消导致太赫兹波段的巨大色散,从而实现该波段上电磁脉冲的群速度延迟的工作原理，通过将一个120度弧形谐振器和一个48个齿轮的内凹齿轮谐振器相组合，在0.23太赫兹波段，实现38.89皮秒的群速度延迟。本发明利用现有微加工工艺，制备工艺简单、操作方便，可以精确控制谐振器微结构的加工区域，大大降低了制作成本。在未来的巨大应用前景的THz通讯技术无源器件的发展和应用提供了坚实的技术物质基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 波段 器件 及其 制作 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹波段的慢光器件，其特征在于，采用柔性电子器件加工工艺，在25微米厚聚酰亚胺薄膜单一表面，制备产生类表面等离子体干涉相消的周期性电磁谐振单元阵列；在0.23太赫兹频率上产生等离子体诱导透明窗口,在该窗口上实现对频率中心位于0.23太赫兹的电磁脉冲的群速度延迟，延迟时间达到38.9皮秒；/n所述周期性电磁谐振单元阵列，其电磁谐振单元阵列具有周期性,每个单元尺寸为420微米×420微米；每个周期性电磁谐振单元由一个弧形金属谐振器和一个内凹齿轮形金属谐振器组成。/n
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