[发明专利]一种提高镁金属表面抗腐蚀性和耐磨性的方法有效
| 申请号： | 201710584187.8 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107354444B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王欣;赵丽丹;于盛旺;丁文强 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 申艳玲 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高镁金属表面抗腐蚀性和耐磨性的方法，包括：（1）镁试样预处理；（2）将预处理好的镁试样放入双辉等离子渗金属炉设备的试样台上，调整石墨靶与样品的间距为15‑20cm（3）先用抽真空装置将真空室的气压抽至5Pa以下，然后通入惰性气体使真空室气压稳定在34Pa‑36Pa时，打开偏压电源并缓慢加至550V进行溅射清洗；（4）清洗完成后抽出残气，通惰性气体，当真空室气压稳定在34Pa‑36Pa时，打开偏压电源并缓慢加至550V，源极电压和阴极电压压差保持在250V，然后保温30min后随炉冷却2h，关闭惰性气体。本发明增大了靶间距，起到升温效应和细化晶粒目的，且减小了对试样表面的破坏性。 | ||
| 搜索关键词： | 惰性气体 真空室气压 耐磨性 偏压电源 镁金属 等离子渗金属 抽真空装置 试样预处理 晶粒 溅射清洗 升温效应 试样表面 随炉冷却 阴极电压 预处理好 源极电压 炉设备 石墨靶 真空室 残气 放入 减小 双辉 细化 压差 气压 保温 清洗 抽出 | ||
【主权项】：
1.一种提高镁金属表面抗腐蚀性和耐磨性的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）镁试样预处理：将镁试样用砂纸打磨至1200#，并进行机械抛光，然后在无水乙醇中超声清洗；（2）将预处理好的镁试样放入双辉等离子渗金属炉设备的试样台上，将平面石墨靶与样品相对放置，调整石墨靶与样品的间距为15‑20cm；（3）先用抽真空装置将真空室的气压通过出气管孔抽至5Pa以下，然后通过进气管孔通入惰性气体使真空室气压稳定在34Pa‑36Pa时，打开偏压电源并缓慢加至550V，对真空室和试件表面进行溅射清洗，清洗时间为15‑30min；（4）清洗完成后，打开抽真空装置并通过出气管孔抽出残气，然后通过进气管孔通入惰性气体到真空室内，当真空室气压稳定在34Pa‑36Pa时，打开偏压电源并缓慢加至550V，源极电压和阴极电压压差保持在250V，然后保温30min后随炉冷却2h，关闭惰性气体。
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