[发明专利]全铝型金属化薄膜及其真空镀膜装置

摘要

本发明涉及全铝型金属化薄膜及其真空镀膜装置，该装置包括卷绕室和镀膜室，卷绕室中设置有放卷辊、放膜过渡辊、第一张力调节辊、第一展平辊、冷却辊、压辊、第二张力调节辊、导辊、第二展平辊、牵引辊和收券辊，镀膜室中设置有送铝丝机构、熔融坩埚、排液管、工位转盘、步进电机、底板。该全铝型金属化薄膜真空镀膜装置通过对现有蒸发坩埚的结构进行优化设计，利用离心力降低从蒸发坩埚中喷出的铝蒸气中氧化铝颗粒的含量，同时也能够避免蒸发坩埚中喷出的铝蒸气四处逃逸，蒸发坩埚中喷出的铝蒸气集中成束，方向性好，可控性高，铝蒸气利用率高，蒸镀形成的镀铝层结构致密、成分均匀。

主权项

全铝型金属化薄膜真空镀膜装置，包括卷绕室（1）和镀膜室（2），所述卷绕室（1）中设置有放卷辊（11）、放膜过渡辊（12）、第一张力调节辊（13）、第一展平辊（14）、冷却辊（15）、压辊（16）、第二张力调节辊（17）、导辊（18）、第二展平辊（19）、牵引辊（110）和收券辊（111），所述镀膜室（2）中设置有送铝丝机构（21），其特征在于：所述镀膜室（2）中还设置有熔融坩埚（3）、排液管（31）、工位转盘（4）、步进电机（5）、底板（6），所述排液管（31）的尾端与熔融坩埚（3）连通，排液管（31）上还设置有排液阀（32）；所述工位转盘（4）设置在底板（6）的上方，所述工位转盘（4）与底板（6）转动连接，所述工位转盘（4）由步进电机（5）驱动；所述工位转盘（4）的上方设置有一对相互对称的离心转盘（8），离心转盘（8）与工位转盘（4）转动连接，离心转盘（8）的一侧设置有高速电机（81），离心转盘（8）由高速电机（81）驱动；所述离心转盘（8）的上方固设有蒸发坩埚（7），蒸发坩埚（7）包括圆台形上蒸发室（71）和倒圆台形下蒸发室（72），上蒸发室（71）顶部的直径小于上蒸发室（71）底部的直径，下蒸发室（72）顶部直径大于下蒸发室（72）底部直径，上蒸发室（71）的底部与下蒸发室（72）的顶部连通，所述上蒸发室（71）的顶部设置有蒸发口（711）；所述上蒸发室（71）的内锥角为α，α为钝角；所述下蒸发室（72）的内锥角为β，β为锐角。