[发明专利]用于在集成装置中减少正交的分段电极结构在审
| 申请号： | 201710550473.2 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN107619018A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 蒂埃里·卡萨涅;热拉尔·特劳赫;马格丽特·莱斯莉·尼芬;阿龙·A·盖斯贝格尔 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C3/00;G01C19/5712 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种集成装置包括例如陀螺仪等MEMS装置，所述MEMS装置具有与衬底间隔开的可移动块，所述可移动块被配置成相对于所述衬底在驱动方向上振荡。所述集成装置另外包括具有与MEMS装置耦合的表面的集成电路(IC)管芯，使得所述可移动块插入在所述衬底与所述IC管芯的所述表面之间。电极结构形成在所述IC芯片的所述表面上，所述电极结构包括与所述可移动块竖直间隔开的多个电极段。开口延伸穿过所述可移动块，并且所述电极段覆盖所述开口。可以激活适当选择的电极段以块朝向与MEMS竖直间隔开的感测电极静电吸引所述可移动块，以减少所述可移动块的正交运动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成 装置 减少 正交 分段 电极 结构 | ||
【主权项】：
一种集成装置，其特征在于，包括：微机电系统MEMS装置(20)，所述微机电系统MEMS装置(20)具有与衬底(32)间隔开的可移动块(28、30)，所述可移动块(28、30)被配置成相对于所述衬底(32)在驱动方向(34)上振荡；集成电路IC管芯(62、86)，所述集成电路IC管芯(62、86)具有与所述MEMS装置(20)耦合的表面(64、88)，使得所述可移动块(28、30)插入在所述衬底(32)与所述IC管芯(62、86)的所述表面(64、88)之间；以及电极结构(82)，所述电极结构(82)形成在所述IC管芯(62、86)的所述表面(64、88)上，所述电极结构(82)包括与所述可移动块(28、30)竖直间隔开的多个电极段(90)。
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