[发明专利]一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法

摘要

本发明适用于压电元件气密性检测，提供了一种压电元件气密性的检测装置，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室，频率发生器通过导线与信号检测装置相连接，形成检测电路，每一开关的一端连接导线，开关的另一端连接待检测的压电元件，待检测的压电元件放置于气密测试室内，待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，待检测的压电元件的另一端接地线，所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。本发明实施例在进行大批量压电元件的气密性检测时，只需要获取压电元件在不同压力下，在谐振点的前后数据变化，就能判断该压电元件气密性是否良好，不需要通过目测、外接振荡电路等，检测方法简单，检测速度快。

主权项

1.一种采用检测装置的压电元件气密性检测方法，其特征在于，所述检测装置包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室；所述频率发生器通过导线与所述信号检测装置相连接，形成检测电路；每一所述开关的一端连接所述导线，所述开关的另一端连接待检测的压电元件；所述待检测的压电元件放置于所述气密测试室内，所述待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，所述待检测的压电元件的另一端接地线；所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差；其中所述气密性检测方法包括：在所述气密测试室初始气压状态下，测试得到所有待测压电元件在各自谐振点时所述信号检测装置检测到的第一传输信号衰减值；所述谐振点为所述待检测压电元件的有效工作频率；具体的，在所述气密测试室初始气压状态下，按照预置检测顺序，将待检测的压电元件所对应的开关接通，并将其余的开关设置为开路；设置所述频率发生器输出信号的初始频率，读取并记录所述信号检测装置在所述初始频率下的检测数据；调整所述频率发生器输出信号的频率，读取并记录所述信号检测装置在不同频率下的检测数据，以获取所述压电元件的第一传输信号衰减值；关闭当前的开关，并按照所述预置检测顺序接通下一待检测的压电元件对应的开关，重复所述设置所述频率发生器输出信号的初始频率的步骤，直至完成所有待检测的压电元件的谐振点处的衰减值检测；在所述气密测试室气压变化状态下，测试得到所有待测压电元件在各自谐振点时所述信号检测装置检测到的第二传输信号衰减值；对于每个待测压电元件，若其对应的第一传输信号衰减值与第二传输信号衰减值的差值大于预设的差值阈值，则判定该待测压电元件气密性不良；其中，在不同状态测试每个待测压电元件的传输信号衰减值时，控制仅当前测试的压电元件所对应的开关接通。