[发明专利]一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法

说明书

本发明适用于压电元件气密性检测，提供了一种压电元件气密性的检测装置，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室，频率发生器通过导线与信号检测装置相连接，形成检测电路，每一开关的一端连接导线，开关的另一端连接待检测的压电元件，待检测的压电元件放置于气密测试室内，待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，待检测的压电元件的另一端接地线，所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。本发明实施例在进行大批量压电元件的气密性检测时，只需要获取压电元件在不同压力下，在谐振点的前后数据变化，就能判断该压电元件气密性是否良好，不需要通过目测、外接振荡电路等，检测方法简单，检测速度快。

技术领域

本发明属于压电元件气密性检测领域，尤其涉及一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法。

背景技术

压电元件一般采用气密密封，以保护其谐振性能不受外部环境影响。气密性不良产生泄漏时，除影响其谐振性能外，由于泄漏物质的不确定性，对压电元件构成不可靠性风险。

检测气密性的方法大致可分三类。第一类是浸泡，即将被检测器件浸泡在液体中，采用加压方式以加快渗漏速度，当液体渗进气密性不良器件腔体后，通过检测器件的性能，如绝缘性来判断被测器件的气密性。浸泡的另一种方式是将被检测器件浸泡在加热后的氟油，被检测的器件因升温使内部气体膨胀，使泄漏处产生气泡，通过目测检查以确认器件的气密性。

第二类是压差检漏，该方法是在预压室内预先加压、密封，然后将被测器件置于测试室内、密封，打开预压室与测试室的通道，通过压力变化计算测试室内空间，当被检测器件气密不良，测试室内有效空间会增大，压力较气密产品低，从而判断被检测产品气密不良。另一压差检漏方式是将被检测压电元件连接振荡电路，通过检测振荡幅度推断其谐振阻抗，对比常压和加压后的谐振阻抗变化以判断被测压电元件的气密性。

第三类是质谱检漏，该方法是将被检测器件置于压力空内，并在压力室内充入指定物质，如氦气。随时间受压物质通过泄漏处渗进气密不良器件内腔，卸压取出，将器件置于专用的质谱检测仪检测室，关上并真空，通过检测指定物质的泄漏状况以判断被检测器件的漏率。

上述三种方法在大批量生产均存在不足之处。如浸泡方式需要通过目视检测，检测时间长，浸泡过程中渗入气密不良的物质会随时间从泄漏点外泄，限制了其有时效，亦无法检测漏率很大的产品。压差检测面对小型产品，其相对空间变化小，存在测量精度不足问题，构成误判风险。使用振荡器进行压差检测，每只被检测的压电元件需连接振荡器，振荡器体积大，处理能力受空间限制。质谱检漏设备成本高昂，不良品判断只能以单只进行，需时较长。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法，旨在解决现有技术中在进行大批量压电元件检测时，检测时间长，检测精度不够的问题。

本发明是这样实现的，一种压电元件气密性的检测装置，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室；

所述频率发生器通过导线与所述信号检测装置相连接，形成检测电路；

每一所述开关的一端连接所述导线，所述开关的另一端连接待检测的压电元件；

所述待检测的压电元件放置于所述气密测试室内，所述待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，所述待检测的压电元件的另一端接地线。

所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。

进一步地，所述信号检测装置为矢量电表。

进一步地，所述检测装置还包括开关切换装置；

所述开关切换装置，与所述开关相连接，用于按照预置控制规则控制若干所述开关的闭合或断开。

本发明还提供了一种采用上述所述的检测装置的压电元件气密性检测方法，包括：