[发明专利]一种半导体晶圆凸块电阻测试装置

摘要

本发明公开了一种半导体晶圆凸块电阻测试装置，包括箱盖和箱体，所述箱体的上端设置有工作台，所述工作台的上端对称设置有两个平行布置的滑轨，所述滑轨之间设置有两个平行布置的直尺，所述工作台内部设置有LED灯，所述LED灯的上端设置有透光板，所述工作台的一端侧面嵌入设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操作界面，所述箱体上端远离显示屏的一侧设置有竖直布置的后侧板。本发明采用活动式的测量架结构，检测筒便于旋转收纳在箱体中，较少了占用空间，便于操作和携带，设置了夹具式的导电端子，导电端子的弹性结构便于测量不同的晶圆结构，提高测量的准确定，提高工作效率。

主权项

1.一种半导体晶圆凸块电阻测试装置,包括箱盖（3）和箱体（12），其特征在于：所述箱体（12）的上端设置有工作台（19），所述工作台（19）的上端对称设置有两个平行布置的滑轨（20），所述滑轨（20）之间设置有两个平行布置的直尺（21），所述工作台（19）内部设置有LED灯（14），所述LED灯（14）的上端设置有透光板（16），所述工作台（19）的一端侧面嵌入设置有显示屏（27），所述显示屏（27）的一侧设置有操作界面（26），所述箱体（12）上端远离显示屏（27）的一侧设置有竖直布置的后侧板（10），所述后侧板（10）通过铰链（8）转动连接有箱盖（3），所述箱盖（3）内部位于铰链（8）上端位置处设置有固定板（7），所述固定板（7）的中心位置处设置有立柱（4），所述立柱（4）上端套有套筒（5），所述套筒（5）上端设置有支架（2），且套筒（5）上端位于支架（2）的一侧设置有紧固旋钮（6），所述支架（2）的另一端设置有检测筒（1），所述检测筒（1）的下端通过转筒（25）转动连接有夹具（24），所述夹具（24）对称设置有两个，且两个夹具（24）分别通过弹簧（23）对称连接有两个导电端子（22），所述固定板（7）靠近工作台（19）的一侧通过转轴（9）连接有固定杆（11），所述箱体（12）的内部设置有恒流电源（13），所述恒流电源（13）的一侧设置有STC89C52RC单片机（15），所述STC89C52RC单片机（15）的一侧设置有AD9200转换器（17），所述AD9200转换器（17）的一侧设置有储存器（18），所述LED灯（14）、STC89C52RC单片机（15）、AD9200转换器（17）、导电端子（22）、显示屏（27）均与恒流电源（13）电性连接。