[发明专利]一种半导体晶圆凸块电阻测试装置

说明书

本发明公开了一种半导体晶圆凸块电阻测试装置，包括箱盖和箱体，所述箱体的上端设置有工作台，所述工作台的上端对称设置有两个平行布置的滑轨，所述滑轨之间设置有两个平行布置的直尺，所述工作台内部设置有LED灯，所述LED灯的上端设置有透光板，所述工作台的一端侧面嵌入设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操作界面，所述箱体上端远离显示屏的一侧设置有竖直布置的后侧板。本发明采用活动式的测量架结构，检测筒便于旋转收纳在箱体中，较少了占用空间，便于操作和携带，设置了夹具式的导电端子，导电端子的弹性结构便于测量不同的晶圆结构，提高测量的准确定，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及电阻测试技术领域，具体为一种半导体晶圆凸块电阻测试装置。

背景技术

电阻测试仪，是测量物体导电性的一种仪器，电阻测试仪被广泛的应用于电气安全检查与接地工程竣工验等场合。电阻测试仪的种类比较多，包括接地电阻测试仪、绝缘电阻测试仪、接地电阻测试仪、直流电阻测量仪、表面电阻测试仪以及回路电阻测试仪。直流电阻测试仪是新一代变压器直流电阻的测试仪器，它能根据不同型号的电力变压器自动选择测试电流，以最快的速度显示测试结果。直流电阻测试仪并且具有存储、打印、放电指示等功能，内置不掉电存储器，可长期保存测量数据，液晶显示器的采用使得该仪器人机界面良好，是直流电阻测试工作中的首选设备。

但是，现有技术中的电阻测试仪，特别是用于测量半导体晶圆凸块的电阻测试仪，其结构单一，对晶圆凸块的测试不便于固定和测量，使用不便，而且传统的电阻测试仪体积较大，不便于携带，使用操作较为困难，工作效率低下。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体晶圆凸块电阻测试装置，以解决上述背景技术中提出的结构单一，对晶圆凸块的测试不便于固定和测量，使用不便，而且传统的电阻测试仪体积较大，不便于携带，使用操作较为困难，工作效率低下的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体晶圆凸块电阻测试装置,包括箱盖和箱体，所述箱体的上端设置有工作台，所述工作台的上端对称设置有两个平行布置的滑轨，所述滑轨之间设置有两个平行布置的直尺，所述工作台内部设置有LED灯，所述LED灯的上端设置有透光板，所述工作台的一端侧面嵌入设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操作界面，所述箱体上端远离显示屏的一侧设置有竖直布置的后侧板，所述后侧板通过铰链转动连接有箱盖，所述箱盖内部位于铰链上端位置处设置有固定板，所述固定板的中心位置处设置有立柱，所述立柱上端套有套筒，所述套筒上端设置有支架，且套筒上端位于支架的一侧设置有紧固旋钮，所述支架的另一端设置有检测筒，所述检测筒的下端通过转筒转动连接有夹具，所述夹具对称设置有两个，且两个夹具分别通过弹簧对称连接有两个导电端子，所述固定板靠近工作台的一侧通过转轴连接有固定杆，所述箱体的内部设置有恒流电源，所述恒流电源的一侧设置有STC89C52RC单片机，所述STC89C52RC单片机的一侧设置有AD9200转换器，所述AD9200转换器的一侧设置有储存器，所述LED灯、STC89C52RC单片机、AD9200转换器、导电端子、显示屏均与恒流电源电性连接。

进一步的，所述检测筒垂直于支架设置，所述支架垂直于立柱设置，所述立柱垂直于固定板设置。

进一步的，所述固定杆对称设置有两个，且固定杆的长度与固定板到箱体之间的距离相等。

进一步的，所述直尺与滑轨之间垂直设置。

进一步的，所述支架的长度小于箱盖长度值的一半。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）本发明采用活动式的测量架结构，检测筒便于旋转收纳在箱体中，较少了占用空间，便于携带，同时便于操作。

（2）本发明设置有夹具式的导电端子，导电端子的弹性结构便于测量不同的晶圆结构，提高测量的准确定，提高工作效率。