[发明专利]线宽测量系统和线宽测量装置有效
| 申请号： | 201710527292.8 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109211117B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 范纪铭;徐兵;周畅;陈跃飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/25 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量系统，包括线宽测量单元、焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元。所述测量系统可以实现CD测量、标记搜索定位、剖面轮廓测量与焦面检测。本发明还公开了一种线宽测量系统，包括线宽测量单元与焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元中至少一个。本发明还公开了一种线宽测量装置。本发明还公开了一种线宽测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 装置 | ||
【主权项】：
1.一种线宽测量系统，其特征在于，包括线宽测量单元与焦面检测及轮廓测量单元，所述线宽测量单元包括第二测量光束、第二探测模块，所述第二测量光束垂直入射至基底表面，被所述基底表面反射后由所述第二探测模块接收。
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