[发明专利]曝光机的挡板位置确定方法有效
| 申请号： | 201710514972.6 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109212908B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 唐文静;范刚洪;徐广军;王群 | 申请（专利权）人： | 上海仪电显示材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 闫海珍;吴敏 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种曝光机的挡板位置确定方法，本发明通过改变挡板位置确认图形的位置，将其设置在两次曝光子区域的共同边界附近，从而在一次挡板位置确认图形检查过程中，可以同时检查两个子曝光区域的边界。相对于每次检查一个子曝光区域边界的方法，能提高检查效率、降低确认图形的浏览量、缩短检查时间、提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 挡板 位置 确定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机的挡板位置确定方法，其特征在于，包括：将基板上的待曝光膜层划分为若干子曝光区域，每一所述子曝光区域的范围小于或等于掩膜板在待曝光膜层上的曝光范围；每个子曝光区域所使用的掩膜板在靠近边界处具有开口，所述边界对应相邻两子曝光区域的共用边界或待曝光膜层中与所述共用边界平行的边界；使用掩膜板，依次对各子曝光区域曝光，各子曝光区域曝光过程中使用挡板遮光；所述掩膜板的开口在对应子曝光区域进行曝光同时，在该子曝光区域中形成各边界的挡板位置确认图形；之后对基板上的待曝光膜层显影；检查各子曝光区域中各边界的挡板位置确认图形，其中将共用边界分别位于相邻两子曝光区域中的挡板位置确认图形作为一个整体检查：若每一子曝光区域各边界的挡板位置确认图形完整，则各子曝光区域曝光时各边界的挡板位置均符合要求；若某个或某几个子曝光区域中某个或某几个边界的挡板位置确认图形不完整，则该个或该几个子曝光区域曝光时某个或某几个边界的挡板位置不符合要求。
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