[发明专利]一种物理气相沉积法在圆锯片上制备的复合涂层

摘要

本发明属于刀具技术领域，具体公开了一种物理气相沉积法在圆锯片上制备的复合涂层以及制备方法，由里向外依次包括底层、缓冲层、加强层、耐磨层，其中底层为Ti金属层，缓冲层为TiN层，加强层为多个TiCN单层与TiSiN单层交替设置形成的复合层，耐磨层为TiCSiN层，缓冲层包括第一TiN层、第二TiN层，耐磨层中各组份质量分数分别为：Ti48%～56%，C30%～35%，Si8%～12%，N5%～10%。本发明的复合涂层硬度高，摩擦系数低，耐高温性能好，能满足较大的切削速度，而且内部的应力小，强度高，粘结强度高，使用TiC合金靶、TiSi合金靶、TiCSi合金靶作为靶材的制备成本更低。

主权项

1.一种物理气相沉积法在圆锯片上制备的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层由里向外依次包括底层、缓冲层、加强层、耐磨层，其中底层为Ti金属层，缓冲层为TiN层，加强层为若干TiCN单层与TiSiN单层交替设置形成的复合层，耐磨层为TiCSiN层；所述缓冲层由里向外依次包括第一TiN层、第二TiN层，其中第一TiN层贴靠Ti金属层，第二TiN层贴靠加强层，第二TiN层、TiCN单层以及TiSiN单层中Ti的质量分数相同且小于第一TiN层中Ti的质量分数，第一TiN层比第二TiN层厚100～200nm；所述复合涂层的厚度为4～6μm，其中底层的厚度为80～180nm，加强层的厚度为1.5～2.4μm，耐磨层的厚度为1.42～2.42μm，余下为缓冲层的厚度，加强层中TiCN单层与TiSiN单层的厚度相同，且相邻TiCN单层与TiSiN单层的总厚度为120～150nm。