[发明专利]一种柔性光电转换装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201710494514.0 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107394043B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李世彬;刘德涛;陈皓;张瑞;王亚飞 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/00;H01L51/48 |
| 代理公司： | 51244 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 廖曾 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种制备柔性光电转换装置的方法及按照此方法制备的柔性光电转换装置。本发明的柔性光电转换装置重量轻、可弯曲、可广泛应用于曲面环境。而且，本发明中光电转换装置的各功能层都可在低温环境中制备，无需高温加热，对柔性衬底无损伤，有利于简化工艺流程、降低成本、提高电池效率；此外，石墨烯/ITO薄膜作为复合透明光电极，电阻小、透光性好、具有良好的柔性，并具有很好的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 光电 转换 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备柔性光电转换装置的方法，其特征在于，包括：/n依次用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗柔性透明衬底15分钟，然后使所述柔性透明衬底干燥；/n在表面长有石墨烯薄膜的铜箔上旋涂6%的PMMA溶液，形成PMMA/石墨烯/铜箔结构；/n将所述PMMA/石墨烯/铜箔结构置于刻蚀液中30分钟，刻蚀去除铜箔，获得PMMA/石墨烯结构；/n用所述柔性透明衬底将所述PMMA/石墨烯结构转移至去离子水中进行清洗，形成PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构；/n将清洗后的所述PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构竖向放置12至24小时后在60摄氏度下加热20分钟；/n所述PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构冷却后，置于丙酮溶液中浸泡，去除PMMA，获得石墨烯/柔性透明衬底结构；/n将所述石墨烯/柔性透明衬底结构置于溅射室内，以ITO陶瓷为靶材，靶距65 mm，靶面直径为5 cm，靶厚为6 mm；/n调节旋转速率为10 r/min，当溅射真空室内的真空度达到1×10
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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