[发明专利]一种柔性光电转换装置及其制备方法

权利要求书

1.一种制备柔性光电转换装置的方法，其特征在于，包括：

依次用丙酮、无水乙醇和去离子水超声清洗柔性透明衬底15分钟，然后使所述柔性透明衬底干燥；

在表面长有石墨烯薄膜的铜箔上旋涂6%的PMMA溶液，形成PMMA/石墨烯/铜箔结构；

将所述PMMA/石墨烯/铜箔结构置于刻蚀液中30分钟，刻蚀去除铜箔，获得PMMA/石墨烯结构；

用所述柔性透明衬底将所述PMMA/石墨烯结构转移至去离子水中进行清洗，形成PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构；

将清洗后的所述PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构竖向放置12至24小时后在60摄氏度下加热20分钟；

所述PMMA/石墨烯/柔性透明衬底结构冷却后，置于丙酮溶液中浸泡，去除PMMA，获得石墨烯/柔性透明衬底结构；

将所述石墨烯/柔性透明衬底结构置于溅射室内，以ITO陶瓷为靶材，靶距65 mm，靶面直径为5 cm，靶厚为6 mm；

调节旋转速率为10 r/min，当溅射真空室内的真空度达到1×10^-5 Pa后，通入高纯的氩气作为溅射气体，预溅射5分钟后，在所述石墨烯/柔性透明衬底结构中的石墨烯层上溅射形成ITO薄膜；

在所述ITO薄膜上涂布浓度为0.075 mol/L的氧化锡的异丙醇溶液，在加热台上100 摄氏度下退火10分钟，150摄氏度下退火60分钟，从而在所述ITO薄膜上形成氧化锡薄膜；

将PbI₂和CH₃NH₃I以摩尔比1:1溶解于体积比为9:1的N,N-二甲基甲酰胺和二甲基亚砜的混合溶液中，并将所述混合溶液旋涂到所述氧化锡薄膜上，旋涂过程中用乙醚进行冲洗，然后在加热台上65摄氏度退火1分钟，100摄氏度退火9分钟，从而在所述氧化锡薄膜上形成钙钛矿薄膜；

将Spiro-OMeTAD/氯苯溶液涂布在所述钙钛矿薄膜上，以4000 rpm/s旋涂30秒，从而在所述钙钛矿薄膜上形成Spiro-OMeTAD薄膜；

在所述Spiro-OMeTAD薄膜上真空热蒸镀形成厚度为80纳米的金电极。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述柔性透明衬底为PEN、PET或者PI，厚度为0.01~0.5mm，透过率大于80%。

3.一种柔性光电转换装置，其特征在于，所述柔性光电转换装置使用权利要求1或者2所述的方法制成。