[发明专利]一种聚酰胺/氮化硅膜致密性的检测方法在审
| 申请号： | 201710468368.4 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN107271450A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张迎春;谢克成;杨立涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N1/30;G01N1/34;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,桑胜梅 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种聚酰胺/氮化硅膜致密性的检测方法，包括使用碱性溶液流平或者浸泡已制备聚酰胺/氮化硅钝化膜的玻璃基板；然后将玻璃基板清洗并干燥，之后检测玻璃基板上的异常点并对异常点修复。本发明提供的检测方法填补了PA‑SiNx膜致密性检测的空白。对PA‑SiNx膜致密性检测使用的碱性溶液可以使用现有的光阻剥离液，原料工艺成熟，具有实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰胺 氮化 致密 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种聚酰胺/氮化硅膜致密性的检测方法，包括：步骤I：使用碱性溶液流平或者浸泡已制备聚酰胺/氮化硅膜的玻璃基板；步骤II：将流平或浸泡后的玻璃基板清洗，以除去剥离物和碱性溶液，然后将玻璃基板干燥；步骤III：检测玻璃基板上的异常点并对异常点修复。
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