[发明专利]具有改进灵敏度的压电MEMS传感器，诸如力、压力、变形传感器或麦克风有效
| 申请号： | 201710459683.0 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN108017036B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;S·康蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压电型MEMS传感器、具体地麦克风(50)，形成于采用半导体材料的容纳柔顺部分(54)的膜(52)中，该柔顺部分从该膜的第一表面(52a)延伸至第二表面(52b)。该柔顺部分(54)具有低于该膜(52)的其余部分的杨氏模量。具有半导体材料的敏感区域(57)在该柔顺部分(54)上方在该第一表面(52a)上延伸，并且在其端部在所述柔顺部分(54)的相反侧上固定至所述膜(52)上。所述膜的安排在所述柔顺部分(54)与所述第二表面(52b)之间的第三区域(55)形成铰链元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 灵敏度 压电 mems 传感器 诸如 压力 变形 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种压电MEMS传感器(50)，包括：半导体材料的膜(52)，所述膜具有第一和第二表面(52a，52b)；在所述膜内的柔顺部分(54)，所述柔顺部分从所述膜的所述第一表面(52a)延伸到所述第二表面(52b)，并且将所述膜的第一区域与第二区域分离开，所述第一和第二区域安排在所述柔顺部分的不同侧上，所述柔顺部分(54)具有低于所述膜(52)的所述第一和第二区域的杨氏模量；以及包括压电材料的敏感区域(57)，所述敏感区域在所述柔顺部分(54)上方在所述第一表面(52a)上延伸，并且具有固定至所述膜(52)的所述第一区域的至少一个第一部分以及固定至所述膜的所述第二区域的一个第二部分，其中，所述膜的安排在所述柔顺部分(54)与所述第二表面(52b)之间的第三区域(55；55’)形成铰链元件。
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