[发明专利]一种固态源的检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201710449660.1 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN109029635A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 兰云峰;史小平;李春雷;王勇飞;王洪彪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/296 | 分类号： | G01F23/296 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种固态源的检测装置及其检测方法，用于检测源瓶内固态源的实时余量，检测装置包括一至多个超声波传感器，设于源瓶顶部，用于向源瓶内部下方发射超声波，并接收反射的超声波；计算单元，用于根据超声波开始发射与开始接收之间的时间差以及源瓶内饱和蒸汽的温度，计算超声波测量距离，并换算为源瓶内固态源的高度，进而计算出源瓶内固态源的实时余量。本发明通过超声测距的方法，提高了检测的精准性，可精准检测固态源的余量，还可降低工艺污染带来的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 固态源 源瓶 检测装置 超声波 检测 超声波传感器 超声波测量 饱和蒸汽 超声测距 工艺污染 计算单元 时间差 检测源 发射 换算 反射 | ||
【主权项】：
1.一种固态源的检测装置，用于检测源瓶内固态源的实时余量，所述源瓶设有进口管路和出口管路，进口管路用于向源瓶内通入载气，出口管路用于向反应腔室内通入被载气携带的由所述固态源产生的饱和蒸汽，其特征在于，所述检测装置包括：一至多个超声波传感器，设于源瓶顶部，用于向源瓶内部下方发射超声波，并接收反射的超声波；计算单元，用于根据超声波开始发射与开始接收之间的时间差以及源瓶内饱和蒸汽的温度，计算超声波测量距离，并换算为源瓶内固态源的高度，进而计算出源瓶内固态源的实时余量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710449660.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种地面积水深度测量系统及方法
- 下一篇：一种测水深装置及方法
