[发明专利]一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201710447559.2 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107170831A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;曾勇;姚日晖;郑泽科;章红科;方志强;陈港;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34;B82Y10/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于显示器件技术领域，公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。其制备方法为在硬质衬底上旋涂纳米纤维素溶液，制备纳米纸衬底，然后依次通过射频磁控溅射室温制备缓冲层，通过直流磁控溅射室温制备栅极，通过射频磁控溅射室温制备栅极绝缘层，然后在栅极绝缘层上室温沉积制备有源层，再通过真空蒸发镀膜室温制备源/漏电极，得到所述纳米纸衬底薄膜晶体管。本发明采用纳米纸衬底并使用真空沉积技术室温下制备，制备方法简单、绿色环保。所得薄膜晶体管具有高迁移率、高稳定性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 衬底 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米纸衬底薄膜晶体管，其特征在于：由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南理工大学，未经华南理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710447559.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：节能热弯机的加热结构及节能热弯机
- 下一篇：用于对塑料片材刻印商标的印字装置
- 同类专利
- 专利分类
