[发明专利]激光晶化设备和方法有效
| 申请号： | 201710447134.1 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107498194B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 苏炳洙;姜美在;李镐锡;任在均;全祥皓;田姸熙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;王琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光晶化设备和方法。该激光晶化方法包括激发密封容器中的气体介质以生成激光束；通过使所述激光束在分别面对所述密封容器的相对端部设置的高反射镜与低反射镜之间反射来放大所述激光束，其中第一透明窗和第二透明窗被固定至密封容器的相应端部并且输出放大后的激光束；以及将清洁镜设置在已透过所述第二透明窗的激光束的路径中。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种激光晶化设备，包括：密封容器，所述密封容器中装满气体介质，并且所述密封容器包括第一透明窗和第二透明窗；电极对，安装在所述密封容器中并通过激发所述气体介质生成激光束；激光谐振部，包括安装在所述第一透明窗外部的高反射镜和安装在所述第二透明窗外部并且反射率低于所述高反射镜的反射率的低反射镜；以及清洁镜，被提供至已透过所述第二透明窗的激光束的路径上的第一位置和与所述激光束的所述路径分离的第二位置中的一个，并且所述清洁镜根据行进状态在所述第一位置与所述第二位置之间行进。
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