[发明专利]激光晶化设备和方法

权利要求书

1.一种激光晶化设备，包括：

密封容器，所述密封容器中装满气体介质，并且所述密封容器包括第一透明窗和第二透明窗；

电极对，安装在所述密封容器中并通过激发所述气体介质生成激光束；

激光谐振部，包括安装在所述第一透明窗外部的高反射镜和安装在所述第二透明窗外部并且反射率低于所述高反射镜的反射率的低反射镜；以及

清洁镜，被提供至已透过所述第二透明窗的激光束的路径上的第一位置和与所述激光束的所述路径分离的第二位置中的一个，并且所述清洁镜根据行进状态在所述第一位置与所述第二位置之间行进，

其中所述清洁镜为具有100％反射率的高反射镜，并且当处于所述第一位置时直接面对所述第二透明窗。

2.根据权利要求1所述的激光晶化设备，其中

所述清洁镜在闲置状态下被提供在所述第一位置并且在运行状态下被提供在所述第二位置。

3.根据权利要求2所述的激光晶化设备，其中

所述清洁镜被结合至移送器并且在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的激光晶化设备，其中

所述移送器包括驱动电机以及结合至所述驱动电机并通过所述驱动电机的操作而旋转的镜框，并且

所述清洁镜被安装至所述镜框。

5.根据权利要求3所述的激光晶化设备，其中

所述移送器包括驱动电机以及结合至所述驱动电机并通过所述驱动电机的操作而执行直线运动的镜框，并且

所述清洁镜被安装至所述镜框。

6.根据权利要求5所述的激光晶化设备，其中

所述镜框产生与所述清洁镜分离的开口，并且

所述开口在所述运行状态下被提供在所述第一位置。

7.根据权利要求3所述的激光晶化设备，其中

所述低反射镜结合至所述移送器，并且

所述低反射镜和所述清洁镜中的一个被提供为面对所述第二透明窗。

8.根据权利要求7所述的激光晶化设备，其中

所述移送器包括驱动电机以及具有圆板形状且结合至所述驱动电机的旋转杆的镜框，并且

所述低反射镜和所述清洁镜沿所述镜框的周向安装在所述镜框中。

9.根据权利要求8所述的激光晶化设备，其中

所述旋转杆结合至所述镜框的中心，并且

所述低反射镜和所述清洁镜关于所述旋转杆对称设置。

10.根据权利要求7所述的激光晶化设备，其中

所述移送器包括驱动电机以及结合至所述驱动电机并根据所述驱动电机的操作而执行直线运动的镜框，并且

所述低反射镜和所述清洁镜沿所述镜框的运动方向彼此平行地安装在所述镜框中。

11.一种激光晶化方法，包括：

激发密封容器中的气体介质，以生成激光束，

通过使所述激光束在分别面对所述密封容器的相对端部设置的高反射镜与低反射镜之间反射来放大所述激光束，并输出放大后的激光束，其中第一透明窗和第二透明窗被固定至所述密封容器的相应端部；以及

在已传播通过所述第二透明窗的所述激光束的路径中设置清洁镜，

其中所述清洁镜为具有100％反射率的高反射镜，并且直接面对所述第二透明窗。

12.根据权利要求11所述的激光晶化方法，其中

输出所述放大后的激光束是其中所述激光束被照射至照射目标的运行状态，并且

设置所述清洁镜是等待下一个输出运行的闲置状态。

13.根据权利要求11所述的激光晶化方法，其中

所述清洁镜在所述放大后的激光束的输出期间从所述激光束的路径移开。