[发明专利]一种无线无源声表面波振动传感器在审
| 申请号： | 201710426970.1 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107238431A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 王文;李勇;王毅坚;薛蓄峰;胡建学;夏前亮;贝伟斌;崔坤 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无线无源声表面波振动传感器，包括天线，匹配电路，压电悬臂梁，由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁上的反射型延迟线结构的SAW器件，位于悬臂梁自由端末端的质量振子和悬臂梁固定基座。叉指换能器与两个反射器构成SAW器件。制作于压电悬臂梁自由端的质量振子的上下对应封装管座封装管帽处各设置缓冲材料与。当传感器受到振动时，压电悬臂梁自由端的质量振子由于受到振动加速度的作用引起压电悬臂梁沿施力方向产生一个位移，产生弯曲变形，压电悬臂梁表面应变的变化导致反射型延迟线SAW器件中SAW传播速度的变化，由此导致反射型延迟线SAW器件的延时和相位发生相应的改变，通过解耦传感信息即可实现对振动量的感知。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无线 无源 表面波 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种无线无源声表面波振动传感器，其特征在于，所述无线无源声表面波振动传感器采用悬臂梁和反射型延迟线结构；所述无线无源声表面波振动传感器包括天线（1）、匹配电路（2）、压电悬臂梁（8）、由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁（8）上的反射型延迟线结构的声表面波器件（9）、位于梁自由端（16）末端的质量振子（10）、用于固定压电悬臂梁（8）的固定基座（6）、封装管座（5）和封装管帽（4）。
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- 本实用新型公开了一种震动检测仪，该震动检测仪包括：石英晶体谐振器、频率震动信号转换器和报警器，石英晶体谐振器输出端与频率震动信号转换器输入端连接，频率震动转换器输出端与报警器连接。该石英晶体谐振器内置压电石英晶片，在石英晶体谐振器接收到震动时，压电石英晶片的谐振频率发生变化，频率震动信号转换器获取到该谐振频率，并将谐振频率的变化信息转化成震动数据，输出报警信号，报警器根据该报警信号进行报警。由于该晶片表面因震动而发生的微小形变能够引起该晶片的谐振频率的巨大变化，晶片表面受到的震动能够有效的转换成谐振频率的变化信息，有效提高了震动检测的灵敏度。
- 一种柱形三维矢量水听器-201910404751.2
- 杨艺欣;张志敏;刘雨皓;彭军;钟奕辰 - 南昌航空大学
- 2019-05-16 - 2019-07-23 - G01H11/08
- 本发明提供了一种柱形三维矢量水听器，包括四梁纤毛式圆形结构和设置在四梁纤毛式圆形结构底部的圆柱结构，所述圆柱结构包括顶面与所述四梁纤毛式圆形结构的底面连接的空心圆柱支撑体、两端支撑在空心圆柱支撑体内壁上的纤毛二、设置在空心圆柱支撑体内且两端分别与纤毛二及四梁纤毛式圆形结构连接的支撑杆、设置在空心圆柱支撑体内壁且对称设置在纤毛二一端的两侧的压敏传感器Ⅱ和设置在空心圆柱支撑体内壁且对称设置在纤毛二另一端的两侧的定值电阻。本发明可通过四梁纤毛式圆形结构与圆柱结构的相互组合而测得三维空间内的信号。
- 一种三角形正交矢量水听器-201910408495.4
- 杨艺欣;张志敏;彭军;钟奕辰;刘雨皓 - 南昌航空大学
- 2019-05-16 - 2019-07-23 - G01H11/08
- 本发明提供了一种三角形正交矢量水听器，包括两个垂直连接的纤毛式微结构，每个所述纤毛式微结构均包括一个三角形衬底、三个悬臂梁、六个压敏传感器、两个定值电阻和一根纤毛，三个所述悬臂梁的一端均与所述三角形衬底的内壁连接而另一端相交于所述三角形衬底的中心，六个所述压敏传感器均布在三个所述悬臂梁上且阻值均相等，两个所述定值电阻设置在所述三角形衬底的底面，所述纤毛的底端与三个所述悬臂梁相交的一端垂直连接，两个所述纤毛式微结构垂直组合后可测得三维方向上的信号。本发明通过设置两个垂直连接的纤毛式微结构，且每个纤毛式微结构采用新型的三角形结构形式，这样可测得三维方向上的信号。
- 一种远程通信型复合声-振信号传感器装置-201822185506.0
- 霍学文;邓文东;徐辉;王亚民;余冬;吕卓琳;陈京生;武清泉;李泽;孙茜;王冬冬;何新宇;谢小玲;袁书霞 - 华北石油通信有限公司
- 2018-12-25 - 2019-07-23 - G01H11/08
- 本实用新型公开了一种远程通信型复合声‑振信号传感器装置，包括信号处理单元，信号处理单元有信号输入接口，所述信号输入接口包括一个音频信号接口和一个震动信号接口，音频信号接口连接一个拾音器，震动信号接口连接一个振动传感器，拾音器和振动传感器分别被固定在电力变压器机体上或者电力变压器安装机架上，所述信号处理单元连接无线通讯单元，无线通讯单元将信号处理单元的信号连接发送至远端的监控服务器。本实用新型通过设置震动传感器和拾音器可以同时接收变压器在运行状态下出现的震动和声音信号，将上述信号经放大处理后利用无线通讯发送至远程的主控中心处理，可以实现对变压器运行状态的远程监控。
- 一种手持式测振仪及其信息提取方法-201910246144.8
- 刘晓波;梁春辉;周煜涵 - 南昌航空大学
- 2019-03-29 - 2019-07-12 - G01H11/08
- 本发明公开了一种手持式测振仪及其信息提取方法，该测振仪和方法旨在解决现今的便携式测振系统功能简单，测量精度、测量值稳定性和测量数据的可用性比较差，同时，较高精度的振动测量系统便携性差，价格昂贵，不利于推广使用的技术问题；该测振仪硬件包括：电源系统、单片机模块、传感器模块、信号调理模块等；电源系统分别与单片机模块、传感器模块、信号调理模块、液晶显示及键盘模块电信号连接，单片机模块分别与信号调理模块、液晶显示及键盘模块、外扩数据存储器及USB接电信号连接，传感器模块与信号调理模块电信号连接。该测振仪和方法通过相应的结构和运算方法，实现了设备精度高、体积小、功能强、抗干扰强、成本低、可靠性强的效果。
- 一种压电式振动传感器-201821950539.3
- 钱平 - 苏州中科速衡电子有限公司
- 2018-11-26 - 2019-07-05 - G01H11/08
- 本实用新型公开了一种压电式振动传感器，包括上盖板结构、定位板、下盖板结构、压电元件和电路机构，所述上盖板结构、定位板和下盖板结构依次设置，且内部形成一空腔，所述定位板板体上设有一通道，所述通道一端连通所述空腔，另一端连通环境；所述压电元件一端设置在所述通道中，另一端设置在所述空腔中，所述电路机构设置在所述定位板板体上并位于所述第一腔室内，所述压电元件引出上电极和下电极，并接入所述电路机构。所述压电式振动传感器采用堆叠的结构，压电元件嵌入盖板的空腔中，减少了产品空间占用率，体积小，扩大了使用范围，并且堆叠结构的设计，在生产时，可以批量处理，或者大规模自动化生产，提高生产效率。
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