[发明专利]一种HBAR谐振器及可调谐微波振荡器在审
| 申请号： | 201710420053.2 | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN107221733A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 闫波;刘梦伟;王文;宫俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H01P7/00 | 分类号： | H01P7/00;H03B5/32 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种HBAR谐振器及可调谐微波振荡器，该可调谐微波振荡器主要包括HBAR谐振器、功率放大器、调谐器三部分。HBAR谐振器具有高Q值和多模谐振特性，是可调谐微波振荡器的核心，决定环路振荡频率，功率放大器采用低噪声系数的元器件组成放大电路，用于对信号功率进行放大，调谐器用于筛选目标频率信号，通过调节调谐器，使HBAR谐振器工作在不同模式上，以改变可调谐微波振荡器环路输出频率。本发明提供的可调谐微波振荡器，环路振荡频率可调，可直接基频输出微波频段信号，不需要经过倍频处理，解决了传统的微波振荡器电路复杂、相位噪声高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hbar 谐振器 调谐 微波 振荡器 | ||
【主权项】：
一种HBAR谐振器，其特征在于，主要由顶电极(10)、压电薄膜(11)和底电极(12)组成的夹心换能器结构(110)和其下的基底层(13)构成；所述顶电极(10)和底电极(12)采用离子镀铬‑金膜制备；所述压电薄膜(11)采用直流磁控溅射ZnO制备；所述基底层(13)采用低损耗的蓝宝石。
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