[发明专利]一种HBAR谐振器及可调谐微波振荡器在审
| 申请号： | 201710420053.2 | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN107221733A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 闫波;刘梦伟;王文;宫俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H01P7/00 | 分类号： | H01P7/00;H03B5/32 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 hbar 谐振器 调谐 微波 振荡器 | ||
1.一种HBAR谐振器，其特征在于，主要由顶电极(10)、压电薄膜(11)和底电极(12)组成的夹心换能器结构(110)和其下的基底层(13)构成；所述顶电极(10)和底电极(12)采用离子镀铬-金膜制备；所述压电薄膜(11)采用直流磁控溅射ZnO制备；所述基底层(13)采用低损耗的蓝宝石。
2.一种可调谐微波振荡器，其特征在于，包括如权利要求1所述的HBAR谐振器(1)、功率放大器(2)和调谐器(3)；其中，
所述HBAR谐振器(1)，具有高Q值和多模谐振特性，决定环路振荡频率；所述功率放大器(2)采用低噪声系数的元器件组成，用于对信号功率进行放大；所述调谐器(3)，用于筛选目标频率信号，通过调节所述调谐器(3)，使所述HBAR谐振器(1)工作在不同模式上，以改变可调谐微波振荡器环路输出频率。
3.根据权利要求2所述的可调谐微波振荡器，其特征在于，所述功率放大器(2)主要由高频低噪声三极管(T)和第一电阻(R1)、第二电阻(R2)、第三电阻(R3)、第三电容(C3)、第四电容(C4)构成；所述调谐器(3)主要由第一电容(C1)、第二电容(C2)和电感(L)组成的LC并联谐振电路构成；所述的HBAR谐振器(1)一端接地，另一端与所述功率放大器(2)连接。
4.按权利要求2所述的可调谐微波振荡器，其特征在于，该HBAR谐振器(1)具有多模谐振特性，通过调整调谐器(3)改变输出频率，调谐方法采用程序控制、电压控制、开关控制等方法中的任意一种。
5.根据权利要求3所述的可调谐微波振荡器，其特征在于，所述LC并联谐振电路计算公式为：其中
6.根据权利要求3所述的可调谐微波振荡器，其特征在于，所述高频低噪声三极管为NEC公司的三极管2SC4226。
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