[发明专利]换能器模块、包括该模块的装置及制造该模块的方法有效
| 申请号： | 201710401428.0 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108017037B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | E·杜奇;M·阿兹佩蒂亚尤尔奎亚;L·巴尔多 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及换能器模块、包括该模块的装置及制造该模块的方法。制造换能器模块的方法包括以下步骤：在衬底上形成第一MEMS换能器、具体是陀螺仪以及具有悬置薄膜的第二MEMS换能器、具体是加速度计；在所述衬底上形成导电层并且将所述导电层限定为同时提供电气地耦合到所述第一换能器的至少一个导电带以及所述第二MEMS换能器的所述薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 换能器 模块 包括 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造换能器模块(10；40)的方法，所述方法包括以下步骤：-在衬底(1)上形成第一MEMS换能器(20)，所述第一MEMS换能器在使用中受到第一环境激励并且被配置成用于根据所述第一环境激励生成第一转换信号；-在所述衬底(1)上形成第二MEMS换能器(30)，所述第二MEMS换能器具有悬置在所述衬底(1)上方的薄膜(4a)，被配置成用于检测环境量并且根据所述检测的环境量生成第二转换信号，所述方法特征在于其还包括以下步骤：-在所述衬底(1)上形成导电层(4)；以及-将所述导电层(4)限定为同时形成所述第二MEMS换能器(30)的所述薄膜(4a)以及电气耦合到所述第一MEMS换能器(20)的至少一个导电带(4c；4d)。
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