[发明专利]用于晶片状物品的液体处理的方法和装置

摘要

本发明提供用于晶片状物品的液体处理的方法和装置，用于处理晶片状物品的装置包括适于将晶片状物品保持在其上的旋转卡盘。旋转卡盘包括外周系列的被配置为接触晶片状物品的边缘区域的销。每个销从旋转卡盘突出，并且每个销包括突出部分和近端部分，突出部分在其远端具有夹持元件，近端部分包括在其近端处的驱动机构，销可以通过该驱动机构旋转。突出部分和近端部分包括可相互接合的连接器，其配置成允许突出部分和近端部分通过将突出部分压靠近端部分而相互连接，并且通过将所述突出部分拉离所述近端部分而被断开。

主权项

一种用于处理晶片状物品的装置，包括适于在其上保持晶片状物品的旋转卡盘，所述旋转卡盘包括外周系列的被配置成接触晶片状物品的边缘区域的销，所述销中的每个从所述旋转卡盘突出，并且所述销中的每个包括突出部分和近端部分，所述突出部分在其远端具有夹持元件，所述近端部分包括在其近端处的驱动机构，所述销可通过所述驱动机构旋转，其中所述突出部分和所述近端部分包括可相互接合的连接器，所述可相互接合的连接器被配置成允许所述突出部分和近端部分通过将所述突出部分压靠所述近端部分而相互连接，并且通过将所述突出部分拉离所述近端部分而被断开。