[发明专利]一种制备微痕锥形光纤传感探头的蚀刻液在审
| 申请号： | 201710388906.9 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107056092A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 周小红;朱锡宇;施汉昌;何苗;王若瑜 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C03C25/68 | 分类号： | C03C25/68 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 关畅,吴爱琴 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备微痕锥形光纤传感探头的蚀刻液。所述蚀刻液由强酸和氢氟酸构成，其中所述氢氟酸为40％氢氟酸；所述强酸包括但不限于硫酸、硝酸；所述强酸的体积占氢氟酸体积的10％～40％。本发明中将一定体积的强酸加入到原40％氢氟酸蚀刻体系，减少传统传感元件制备方法所造成的锥形光纤传感探头表面平整度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 锥形 光纤 传感 探头 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种制备微痕锥形光纤传感探头的蚀刻液，由强酸和氢氟酸构成。
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