[发明专利]一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶有效
| 申请号： | 201710371950.9 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107151287B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 秦龙;许箭;汪武平;耿文练 | 申请（专利权）人： | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/06;C08F222/14;C08F212/14;C08F212/36;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶，通过引入交联型单体，制备出具有交联度可控地三维网状结构的丙烯酸酯共聚物，利用该共聚物制备得到的光刻胶不仅能够满足实际量产工艺的要求(密集的line/space图形在最佳光刻条件下分辨率达到140纳米)，而且与同等含碳量非交联型的光刻胶对比，三维网状的树脂结构能够有效调整光刻胶的抗刻蚀性能，满足刻蚀工艺中对刻蚀比的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交联 丙烯酸酯 共聚物 及其 光刻 | ||
【主权项】：
一种交联型丙烯酸酯类共聚物，其特征在于至少由以下单体聚合而成：i)一种或多种具有间隔基的交联单体，ii)一种或多种具有亲水性基团的单体，iii)一种或多种具有光酸不稳定基团的单体；其中至少有一种单体为丙烯酸酯类单体。
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