[发明专利]一种提高氧化锌透明导电薄膜化学稳定性的方法

摘要

本发明公开了一种提高氧化锌透明导电薄膜化学稳定性的方法，通过采用难溶于酸、碱的高价态金属元素氧化物掺杂氧化锌(ZnO)为靶材，采用磁控溅射技术，以氩气(Ar)和氢气(H2)为溅射气体，实现高价态金属元素与氢(H)共掺杂ZnO透明导电薄膜的制备。本发明有益的效果是制备的ZnO薄膜具有低电阻率、宽光谱透过和抗酸碱腐蚀能力；可以有效的改善ZnO透明导电薄膜耐酸碱腐蚀能力差、不适合作为染料敏化、有机等具有一定腐蚀性的太阳电池电极材料的缺点。从而，可以进一步扩展ZnO透明导电薄膜的应用领域，降低电池的生产成本。

主权项

一种提高氧化锌透明导电薄膜化学稳定性的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将衬底依次在电子清洗液、去离子水中进行超声清洗，然后用氮气吹干；S2、将干净的衬底放入溅射腔室，然后对溅射腔室抽真空，待真空度达到5×105Pa时，分别向溅射腔室通入氩气和氢气作为溅射气体，并通过闸板阀和混合气体流量对腔内气压进行调控；S3、待腔室内的气压稳定后，以难溶于酸、碱的高价态元素掺杂氧化锌为溅射靶材，采用磁控溅射技术在室温下进行氧化锌透明导电薄膜沉积，制备具有低电阻率、宽光谱透过且耐酸碱腐蚀的氧化锌透明导电薄膜。