[发明专利]纳米压印软膜板生产机构有效
| 申请号： | 201710354494.7 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108957945B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓成;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纳米压印软膜板生产机构，其包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；环形定位圈，其设置于硬模板固定板的上方，与定位圈驱动装置传动连接，定位圈驱动装置驱动环形定位圈升降。本发明纳米压印软膜板生产机构结构简单，生产效率高，有效提高软模板的生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 软膜板 生产 机构 | ||
【主权项】：
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