[发明专利]纳米压印软膜板生产机构

权利要求书

1.纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，包括：

硬模板固定板，用于放置硬模板；

环形定位圈，其设置于所述硬模板固定板的上方，与定位圈驱动装置传动连接，所述定位圈驱动装置驱动所述环形定位圈升降；

吸附组件，所述吸附组件为设置于所述硬模板固定板上的多个吸附孔以及与所述吸附孔连接的抽真空装置；

多个所述吸附孔均匀分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述硬模板固定板置物面中心处的吸附孔孔径小于所述硬模板固定板置物面边缘处的吸附孔孔径；

或，多个所述吸附孔分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述吸附孔的分布密度从所述硬模板固定板置物面的中心向边缘逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，还包括加热组件，所述加热组件用于给所述硬模板固定板进行加热。

3.根据权利要求2所述的纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，还包括冷却组件，所述冷却组件用于给所述硬模板固定板进行冷却。

4.根据权利要求3所述的纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，所述加热组件为设置于所述硬模板固定板下方的加热板，所述冷却组件为设置于所述加热板内部的一个或多个冷却孔，所述冷却孔通过连接管与外部水源连接。

5.根据权利要求4所述的纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，所述定位圈驱动装置通过导杆和套设于导杆上的导套与所述环形定位圈传动连接。

6.根据权利要求5所述的纳米压印软膜板生产机构，其特征在于，所述环形定位圈包括压环以及与所述压环下表面接触的抗沾圈。