[发明专利]纳米压印软膜板生产机构

说明书

本发明公开一种纳米压印软膜板生产机构，其包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；环形定位圈，其设置于硬模板固定板的上方，与定位圈驱动装置传动连接，定位圈驱动装置驱动环形定位圈升降。本发明纳米压印软膜板生产机构结构简单，生产效率高，有效提高软模板的生产良率。

技术领域

本发明涉及软模板制备装置，具体涉及一种纳米压印软膜板生产机构。

背景技术

纳米压印技术，是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，这是一种不同与传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。

软模板是一种简单方便的纳米压印模板复制材料，通常由本体材料和固化剂按一定比例混合而成，去除气泡后浇注在母模板表面，通过加热固化成弹性硅橡胶材料的工作模板。

传统的软模板制备装置结构简单，通常为具有凹槽的器皿。将硬模板放置于凹槽内，再在硬模板表面注浇材料，形成软模板，随后人工采用工具将软模板的边缘翘起揭下。传统的设备效率低下，制备出的软模板良率低下。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种纳米压印软膜板生产机构，其结构简单，生产效率高，有效提高软模板的生产良率。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

纳米压印软膜板生产机构包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；环形定位圈，其设置于硬模板固定板的上方，与定位圈驱动装置传动连接，定位圈驱动装置驱动环形定位圈升降。

本发明结构简单，利用具有升降功能的环形定位圈与硬模板固定板实现软模板的制备，生产效率高，且制备出的软模板良率高。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，还包括加热组件，加热组件用于给硬模板固定板进行加热。

采用上述优选的方案，有效实现软模板的热固化。

作为优选的方案，还包括冷却组件，冷却组件用于给硬模板固定板进行冷却。

采用上述优选的方案，对固化后的软模板进行冷却。

作为优选的方案，加热组件为设置于硬模板固定板下方的加热板，冷却组件为设置于加热板内部的一个或多个冷却孔，冷却孔通过连接管与外部水源连接。

采用上述优选的方案，结构简单，安装便捷。

作为优选的方案，定位圈驱动装置通过导杆和套设于导杆上的导套与环形定位圈传动连接。

采用上述优选的方案，环形定位圈升降更稳定。

作为优选的方案，环形定位圈包括压环以及与压环下表面接触的抗沾圈。

采用上述优选的方案，压环主要提供重量，抗沾圈内壁与软模板接触，抗沾的特性使软模板的脱模更顺利。

作为优选的方案，还包括吸附组件，吸附组件为设置于硬模板固定板上的多个吸附孔以及与吸附孔连接的抽真空装置。

采用上述优选的方案，对设置于硬模板固定板上的硬模板进行吸附固定，保证软模板的良率。

作为优选的方案，多个吸附孔均匀分布于硬模板固定板的置物面，且硬模板固定板置物面中心处的吸附孔孔径小于硬模板固定板置物面边缘处的吸附孔孔径。

采用上述优选的方案，便于软模板实现脱模，脱模效果好。

作为优选的方案，多个吸附孔分布于硬模板固定板的置物面，且吸附孔的分布密度从硬模板固定板置物面的中心向边缘逐渐增大。