[发明专利]管式PERC单面太阳能电池及其制备方法和专用设备

摘要

本发明公开了一种管式PERC单面太阳能电池，包括背银主栅、全铝背电场、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正银电极；所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成，所述管式PECVD设备设有硅烷、氨气、三甲基铝、笑气四条气体管路，所述管式PECVD设备装卸硅片的器具为石墨舟，石墨舟的卡点槽的深度为0.5‑1mm。本发明还公开了一种管式PERC单面太阳能电池的制备方法及专用设备。采用本发明，光电转换效率高，外观良率和EL良率高，解决划伤和绕镀的问题。

主权项

1.一种管式PERC单面太阳能电池，其特征在于，包括背银主栅、全铝背电场、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正银电极；所述全铝背电场、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正银电极从下至上依次层叠连接；所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成，所述管式PECVD设备设有硅烷、氨气、三甲基铝、笑气四条气体管路，所述四条气体管路单独或组合作用，用于形成所述三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜、氮化硅膜；所述管式PECVD设备装卸硅片的器具为石墨舟；所述背面复合膜再经过激光开槽后形成30‑500个平行设置的激光开槽区，每个激光开槽区内设置至少1组激光开槽单元，所述全铝背电场通过激光开槽区与P型硅相连；所述石墨舟的卡点槽的深度为0.6‑0.8mm，卡点底座的直径为6‑15mm，卡点帽的斜面角度为35‑45度，卡点帽的厚度为1‑1.3mm。