[发明专利]一种旋转铬靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201710350813.7 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107267939B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 罗永春;胥小勇;石煜;曾墩风;王志强;雷雨;江涛 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C4/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转铬靶材及其制备方法，所述旋转铬靶材为铬材料喷涂二次，所述旋转铬靶材的密度为6.2‑6.9g/cm³，所述旋转铬靶材的氧含量为1000‑5000ppm，所述旋转铬靶材的氮含量为1000‑10000ppm。通过热喷涂方法对铬靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，尽量缩小晶粒尺寸，并且便于对使用后的残靶材进行修补，并且通过对铬靶材的氧氮含量进行控制，提升铬靶材的制造质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 铬靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋转铬靶材的制备方法，其特征在于：所述制备方法步骤如下：步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；步骤二：使用热喷涂设备将铬粉末或铬丝喷涂在基体表面；步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理；所述旋转铬靶材的密度为6.2‑6.9g/cm3，所述旋转铬靶材的氧含量为1000‑5000ppm，所述旋转铬靶材的氮含量为1000‑10000ppm，所述旋转铬靶材的晶粒尺寸≤15μm。
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