[发明专利]一种光电器件的电容性能检测方法

摘要

本发明公开了一种光电器件的电容性能检测方法，该方法包括：确定测试电压，所述测试电压用于测试光电器件的电容性能，所述测试电压为从起始电压开始，连续上升至终止电压，随即所述测试电压从所述终止电压开始，连续下降至起始电压结束，所述测试电压上升的速率和下降的速率相同；将所述测试电压加载至光电器件的两端，根据测试电流和测试电压的变化关系确定所述光电器件的电容性能，所述测试电流为在所述测试电压连续变化的过程中所述光电器件上流过的电流，所述光电器件置于没有光照的环境中。本发明通过测试电压连续变化，并且通过改变测试电压的上升或下降速率，准确反映了光电器件的电容性能。

主权项

1.一种光电器件的电容性能检测方法，其特征在于，包括：确定测试电压，所述测试电压用于测试光电器件的电容性能，所述测试电压为从起始电压开始，连续上升至终止电压，随即所述测试电压从所述终止电压开始，连续下降至起始电压结束，所述测试电压上升的速率和下降的速率相同；将所述测试电压加载至光电器件的两端，根据测试电流和测试电压的变化关系确定所述光电器件的电容性能，所述测试电流为在所述测试电压连续变化的过程中所述光电器件上流过的电流，所述光电器件置于没有光照的环境中；根据测试电流 和测试电压的变化关系确定所述光电器件的电容性能，包括：在所述测试电压连续变化过程中，确定所述光电器件上流过的测试电流，计算测试电流密度以及测试电流密度的对数值；采用对数坐标系表征测试电流密度的对数值与测试电压的变化关系；确定所述对数坐标系中测试电压从起始电压上升至所述终止电压过程中测试电流密度的对数值变化最大处的第一采样电压，以及确定测试电压从终止电压下降至所述起始电压过程中测试电流密度的对数值变化最大处的第二采样电压；根据所述第一采样电压和第二采样电压的差值确定所述光电器件的容抗，所述差值与所述光电器件的容抗成反比，所述光电器件的容抗分别与所述测试电压的上升速率和所述光电器件的电容值成反比。