[发明专利]一种泵电机壳表面硅薄膜沉积方法

摘要

本发明公开一种泵电机壳表面硅薄膜沉积方法，包括以下操作步骤（1）将泵电机壳放入活化液中浸泡20‑30min，取出，用去离子水洗净电机壳表面；（2）将活化后的泵电机壳放入真空室中，抽真空，之后将真空室内的温度升至150‑170℃时，立即向其中充入甲硅烷气体，继续将真空室内的温度升至280‑300℃，持续此温度3.5‑4小时，之后停止加热，并向其中通入温度为5‑10℃、相对湿度为20‑30%的空气，直至真空室内温度降至室温时，取出泵电机壳。采用本发明提供的方法，在泵电机壳表面沉积硅薄膜，可以有效的提升泵电机壳的耐腐蚀能力，起到了长久有效的保护泵电机的作用，延长了泵的使用寿命和扩大了泵的应用领域。

主权项

一种泵电机壳表面硅薄膜沉积方法，其特征在于，包括以下操作步骤：（1）将泵电机壳放入活化液中浸泡20‑30min，取出，用去离子水洗净电机壳表面，其中活化液由以下重量份的组分制成：琥珀酸二钠5‑9份、甲基丙烯磺酸钠4‑7份、六氟磷酸钠8‑10份、氢氧化钾0.4‑0.6份、水150‑170份；（2）将活化后的泵电机壳放入真空室中，抽真空，之后将真空室内的温度升至150‑170℃时，立即向其中充入压力为7.0‑7.5×103Pa甲硅烷气体，继续将真空室内的温度升至280‑300℃，持续此温度3.5‑4小时，之后停止加热，并向其中通入温度为5‑10℃、相对湿度为20‑30%的空气，直至真空室内温度降至室温时，取出泵电机壳。