[发明专利]一种分子泵

摘要

本发明公开了一种分子泵，包括，泵体，上电机座，主轴，为镜相对称结构，上、下安全轴承，上、下安全轴承座，上、下动叶轮，上、下静叶片组，电机，包括上、下电机定子及上、下电机转子，所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组，该分子泵使用了钛合金叶片，重量轻，强度高，同时带来较高的一阶模态频率，提高了分子泵的极限转速；采用了镜像对称形状的的主轴及两个动叶轮、两个电机定子均为对称分布的设计，改善了主轴转动过程中的稳定性；同时在一个电机定子上集成了转矩绕组和悬浮绕组，有效缩短了主轴长度，突破了传统分子泵的极限转速限制，在高真空下据有更高的压缩比，使分子泵应用于极高真空成为可能。

主权项

一种分子泵，包括，泵体，包括：主泵体和两个泵壳，所述两个泵壳分别对称的固定在主泵体的上、下侧，每个泵壳均设有一个泵口，分别为进气口和排气口，主泵体上部设置有上电机座安装部；上电机座，固定至所述上电机座安装部上；主轴，为镜相对称结构，从上至下依次包括：动叶轮安装部、安全轴承接触部、电机转子安装部，所述主轴的中心轴线与所述泵体的中心线共线；上、下安全轴承，主轴通过安全轴承接触部与上、下安全轴承的配合，由此可旋转的设置在所述泵体内；上、下安全轴承座，上安全轴承座固定至上电机座，下安全轴承座固定至主泵体的下方；上、下动叶轮，设于所述泵体内,并分别固定连接至所述主轴两端的动叶轮安装部上，与所述主轴形成轴系转子，其中所述动叶轮的轴线与所述主轴的中心轴线共线；上、下静叶片组，分别包括与所述上、下动叶轮交替配合设置的多层静叶片；电机，包括上、下电机定子及上、下电机转子，所述电机转子固定套设于所述主轴的电机转子安装部上，与所述轴系转子联动设置，所述上、下电机定子套在所述电机转子外侧。