[发明专利]一种分子泵

权利要求书

1.一种分子泵，包括，

泵体，包括：主泵体和两个泵壳，所述两个泵壳分别对称的固定在主泵体的上、下侧，每个泵壳均设有一个泵口，分别为进气口和排气口，主泵体上部设置有上电机座安装部；

上电机座，固定至所述上电机座安装部上；

主轴，为镜相对称结构，从上至下依次包括：动叶轮安装部、安全轴承接触部、电机转子安装部，所述主轴的中心轴线与所述泵体的中心线共线；

上、下安全轴承，主轴通过安全轴承接触部与上、下安全轴承的配合，由此可旋转的设置在所述泵体内；

上、下安全轴承座，上安全轴承座固定至上电机座，下安全轴承座固定至主泵体的下方；

上、下动叶轮，设于所述泵体内,并分别固定连接至所述主轴两端的动叶轮安装部上，与所述主轴形成轴系转子，其中所述动叶轮的轴线与所述主轴的中心轴线共线；

上、下静叶片组，分别包括与所述上、下动叶轮交替配合设置的多层静叶片；

电机，包括上、下电机定子及上、下电机转子，所述电机转子固定套设于所述主轴的电机转子安装部上，与所述轴系转子联动设置，所述上、下电机定子套在所述电机转子外侧。

2.如权利要求1所述的分子泵，其中，所述动叶轮包括本体及多层动叶片，所述多层动叶片在本体外周沿轴向依次布设，所述动叶片的层数与静叶片的层数相应，所述动叶片与所述静叶片沿轴向交替排列。

3.如权利要求2所述的分子泵，其中，所述动叶片由钛合金材料制成。

4.如权利要求1所述的分子泵，其中，所述分子泵还包括上、下定位环组，分别设置在上、下泵壳的内侧壁，其包括多层定位环，所述定位环的层数与静叶片的层数相应，每层定位环具有容纳静叶片的定位凹槽，槽深与静叶片厚度相同。

5.如权利要求4所述的分子泵，其中，所述分子泵还包括上、下调整环，所述上调整环设置在上定位环组与主泵体之间，所述下调整环设置在下定位环组之间，所述上、下调整环具有可调节的轴向尺寸，用于调节定位环的轴向位置。

6.如权利要求1所述的分子泵，其中，主轴还包括位于中间部位的Z轴位置控制盘，所述主泵体和所述上电机座分别包括z轴位置控制盘安装部，用于安装所述Z轴位置控制盘，所述Z轴位置控制盘包括设置在其上的Z轴磁体与Z轴位置传感器。

7.如权利要求6所述的分子泵，其中，所述Z轴位置传感器为一组对称的霍尔位移传感器。

8.如权利要求1所述的分子泵，其中，所述分子泵还包括上、下XY轴位移传感器，所述上电机座和所述主泵体上分别设置有一组XY轴位移传感器安装部，所述上、下XY轴位移传感器分别通过所述上电机座和所述主泵体上的XY轴位移传感器安装部固定在主轴周围，且所述上、下XY轴位移传感器的中心线互相垂直。

9.如权利要求7所述的分子泵，其中，所述上、下XY轴位移传感器均为一组对称霍尔位移传感器。

10.如权利要求1所述的分子泵，其中，所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组，且悬浮绕组的极对数(P1)和转矩绕组的极对数(P2)满足P2＝P1±1。