[发明专利]掩膜板及其制作方法在审
| 申请号： | 201710344347.1 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108866475A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 屈晓娟;高志豪 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 钟宗;王宁 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。该掩膜板用于对多个显示面板进行蒸镀，该掩膜板包括：中央区域以及位于所述中央区域外围的边沿区域；所述中央区域包括：隔断突起，所述隔断突起在所述中央区域呈网格状排布；多个开口区，每个所述开口区位于所述隔断突起的一个独立网格内，所述隔断突起处的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述隔断突起具有自所述隔断突起的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁；以及所述边沿区域包括至少两个焊接区，所述焊接区的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述焊接区具有自所述焊接区的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁。本发明的掩膜板能够保证具有高的蒸镀精度，便于焊接，焊接后无褶皱现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 开口区 突起 隔断 中央区域 焊接区 倾斜延伸 侧壁 顶壁 蒸镀 焊接 显示面板 褶皱现象 网格状 排布 网格 制作 外围 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，用于对多个显示面板进行蒸镀，其特征在于，所述掩膜板包括：中央区域以及位于所述中央区域外围的边沿区域；所述中央区域包括：隔断突起，所述隔断突起在所述中央区域呈网格状排布；多个开口区，每个所述开口区位于所述隔断突起的一个独立网格内，每个所述开口区对应于单独一个所述显示面板的显示区域，所述隔断突起处的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述隔断突起具有自所述隔断突起的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁；以及所述边沿区域包括至少两个焊接区，所述焊接区分别位于所述边沿区域的一组对边，所述焊接区的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述焊接区具有自所述焊接区的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁。
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