[发明专利]掩膜板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。该掩膜板用于对多个显示面板进行蒸镀，该掩膜板包括：中央区域以及位于所述中央区域外围的边沿区域；所述中央区域包括：隔断突起，所述隔断突起在所述中央区域呈网格状排布；多个开口区，每个所述开口区位于所述隔断突起的一个独立网格内，所述隔断突起处的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述隔断突起具有自所述隔断突起的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁；以及所述边沿区域包括至少两个焊接区，所述焊接区的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述焊接区具有自所述焊接区的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁。本发明的掩膜板能够保证具有高的蒸镀精度，便于焊接，焊接后无褶皱现象。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，具体地说，涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

有机电致发光(OLED)显示器具有功耗低、轻便、亮度高、视野宽和反应快等特点，使其能够广泛应用于便携式电子设备、穿戴式电子设备、车载电子设备等诸多领域中。同时，随着智能手机等便携式电子设备对显示器提出了越来越高的分辨率要求，屏幕解析度的发展将达到超高清标准(Ultra High Definition)，分辨率的提高对成膜设备精度提出了更高的要求，这对现有OLED显示器的制作技术形成了巨大的挑战。

OLED显示器中的发光层等功能层一般通过使用掩膜板的蒸镀方法形成，蒸镀方法能够避免发光层中的有机材料与水汽、氧气接触而失效。随着OLED显示器的分辨率越来越高，用于蒸镀的掩膜板的厚度越来越薄。一方面，掩膜板的厚度越薄，将掩膜板焊接在框架上的难度就越大，焊接的工艺参数越难以掌握，容易出现焊穿或焊不透的现象，进而使得掩膜板无法准确固定在框架上。另一方面，掩膜板的厚度越薄，掩膜板的刚度减弱，在将掩膜板拉平焊接在框架上时，容易出现褶皱现象，在后续蒸镀过程中，发光区的位置就会发生偏移，比如预定显示绿色的区域显示别的颜色，产生混色现象。

为克服薄的掩膜板难以焊接在框架上的问题，现有的一种解决方法是增加焊接区的厚度而保持其他区域的厚度。图1是现有的一种掩膜板的截面示意图，参照图1，该掩膜板10包括焊接区11和开口区12，焊接区11用于在蒸镀时焊接在框架上，开口区12用于对显示面板进行蒸镀。该掩膜板10的开口区12保持较薄的厚度，焊接区11的厚度大于开口区12的厚度，这种方法能够有效增加焊接区11的厚度，使掩膜板10较好地固定在框架上，存在的问题是，焊接区11与相邻的用于蒸镀的开口区12的交接处11A通常存在90度的直角阶跃，当对掩膜板10的两端施加拉力时，上述交接处11A会产生褶皱现象，并存在被拉断的风险，不利于后续蒸镀。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种掩膜板，该掩膜板不仅能够使掩膜板较好地焊接在框架上，而且能够缓解对掩膜板施加拉力时产生的褶皱现象，避免被拉断。

为实现上述目的，一方面，本发明提供一种掩膜板，用于对多个显示面板进行蒸镀，所述掩膜板包括：中央区域以及位于所述中央区域外围的边沿区域；

所述中央区域包括：

隔断突起，所述隔断突起在所述中央区域呈网格状排布；

多个开口区，每个所述开口区位于所述隔断突起的一个独立网格内，每个所述开口区对应于单独一个所述显示面板的显示区域，所述隔断突起处的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述隔断突起具有自所述隔断突起的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁；以及

所述边沿区域包括至少两个焊接区，所述焊接区分别位于所述边沿区域的一组对边，所述焊接区的掩膜板的厚度大于所述开口区的掩膜板的厚度，所述焊接区具有自所述焊接区的顶壁向所述开口区倾斜延伸的侧壁。

在一些实施例中，所述隔断突起的倾斜延伸的侧壁与所述隔断突起的顶壁的交接处平滑过渡。

在一些实施例中，所述焊接区的倾斜延伸的侧壁与所述焊接区的顶壁的交接处平滑过渡。