[发明专利]一种超快速多出口激光剥蚀池有效
| 申请号： | 201710338858.2 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107202731B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 胡兆初;陈力飞;史光予;罗涛;张文;宗克清;刘勇胜 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(武汉) |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;G01N27/62 |
| 代理公司： | 42238 武汉知产时代知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曹雄 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超快速多出口激光剥蚀池，包括样品室壳体和快插式样品池，所述样品室壳体的上表面和下表面分别设有观察窗和透射光窗口，所述样品室壳体的左侧面开设有样品放置口，所述快插式样品池通过所述样品放置口固定于所述样品室壳体内的中空腔中，所述快插式样品池具有自其上表面下凹的样品容纳腔，所述快插式样品池的上表面和颈部与所述样品室壳体密封设置，所述样品室壳体的右侧面开设有多个并列设置的出气孔，所述样品室壳体的左侧面开设有一载气进气孔，所述出气孔和所述载气进气孔均向内延伸与所述样品容纳腔连通。本发明的有益效果：能够有效的遏制涡流的产生和减轻甚至消除记忆效应。 | ||
| 搜索关键词： | 样品室壳体 快插式 样品池 上表面 样品容纳腔 样品放置 出气孔 进气孔 左侧面 涡流 并列设置 记忆效应 密封设置 剥蚀 多出口 观察窗 透射光 下表面 样品室 右侧面 中空腔 颈部 下凹 向内 载气 连通 激光 体内 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种超快速多出口激光剥蚀池，包括样品室壳体和快插式样品池，所述样品室壳体的上表面和下表面分别设有观察窗和透射光窗口，所述样品室壳体的左侧面开设有样品放置口，所述快插式样品池通过所述样品放置口固定于所述样品室壳体内的中空腔中，其特征在于：所述快插式样品池具有自其上表面下凹的样品容纳腔，所述快插式样品池的上表面和颈部与所述样品室壳体密封设置，所述样品室壳体的右侧面开设有多个并列设置的出气孔，所述样品室壳体的左侧面开设有一载气进气孔，所述出气孔和所述载气进气孔均向内延伸与所述样品容纳腔连通；所述载气进气孔的孔径为0.2～0.3mm；所述出气孔为3～6个,每一所述出气孔的内径为1～3mm；所述激光剥蚀池还包括一出气帘接头，所述出气帘接头具有多个与所述出气孔对接的对接孔，所述样品室壳体的右侧面还设有一排气阀。/n
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