[发明专利]一种三轴电容式加速度计及电子装置有效
| 申请号： | 201710333977.9 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107037237B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 邹波;王辉;刘爽 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三轴电容式加速度计及电子装置，包括：结构对称设置的第一质量块和第二质量块，第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；位于任意一质量块范围内的多个检测区域，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且质量块复用可动结构，固定结构固定于基底上，用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。本发明提供的技术方案，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势，以及，有效降低加速度计的零点偏差和灵敏度偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 加速度计 电子 装置 | ||
【主权项】：
一种三轴电容式加速度计，其特征在于，包括：结构对称设置的第一质量块和第二质量块，其中，所述第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且所述质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；以及，位于任意一质量块范围内的多个检测区域，其中，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且所述质量块复用所述可动结构，以及，所述固定结构固定于所述基底上，用于在对所述三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。
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