[发明专利]一种支撑梁式MEMS复合传感器及其制备和测试方法有效
| 申请号： | 201710330728.4 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107037079B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;黄祥祥;夏勇;徐廷中;郭鑫;罗运运 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王霞 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法，加热器设置在基底的上表面中央，焊盘位于基底上表面加热器的旁边，和加热器连接，绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上，绝缘层薄膜上在加热器两侧开有空腔，基体底部开有背腔，形成支撑梁结构。加热器同时作为温度传感器；加热器为细长带状结构，分别由四根引线连接加热器与焊盘。传感器利用背腔使待测流体作为基底，可直接对待测流体热导率和热扩散率进行测量，简化了测试流程。本发明所提出的传感器可用于测量导电和非导电微量液体的热导率及热扩散系数。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 传感器 焊盘 基底 绝缘层薄膜 流体热导率 热扩散系数 支撑梁 背腔 制备 测量 复合传感器 基底上表面 上表面中央 温度传感器 支撑梁结构 测试 测试流程 带状结构 热扩散率 微量液体 引线连接 非导电 热导率 导电 可用 流体 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器，其特征在于，包括基底(1)，在基底(1)的上、下表面均设有复合支撑薄膜层，在基底(1)上表面的复合支撑薄膜层上设有加热器(4)和焊盘(6)，加热器(4)和焊盘(6)通过引线(9)相连；在基底(1)上表面的复合支撑薄膜层上方还设有绝缘层薄膜(5)，绝缘层薄膜(5)覆盖加热器(4)和焊盘(6)；在加热器(4)两侧复合支撑薄膜层及绝缘层薄膜(5)的厚度方向上分别通过刻蚀形成一个绝热沟槽(7)，两个绝热沟槽(7)之间未刻蚀部分形成一个薄膜支撑梁(10)；在绝热沟槽(7)开设位置下方的基底(1)及基底(1)下表面复合支撑薄膜层的厚度方向上通过湿法腐蚀形成一个背腔(8)，绝热沟槽(7)与背腔(8)相通形成通孔。
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