[发明专利]一种太阳能刻蚀抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201710326812.9 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107118699A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 徐建;俞超;李慧;陈克;彭彪;马世领;樊华;吴俊清;王丹萍 | 申请（专利权）人： | 东方环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/16 | 分类号： | C09G1/16;C09K13/08 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 韩正玉,徐冬涛 |
| 地址： | 214203 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能刻蚀抛光液及其制备方法，属于太阳能刻蚀抛光技术领域。该该抛光液包括消泡剂、催化剂和去离子水；所述的消泡剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、异十三醇磷酸酯、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚和聚氧丙烯甘油醚；所述的催化剂为醋酸；各成分按质量百分比为消泡剂1～30wt％；催化剂1～30wt％；其余成分为去离子水所组成。本抛光液只需加少量融合在刻蚀槽液内，即可加速HF，HNO3与硅的反应，消泡剂快速将刻蚀过程中的硅片表面的气泡脱离，催化剂促进氢离子的生成，加快酸对硅的腐蚀速率，刻蚀去边结后，硅片表面平整光滑，反射率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 刻蚀 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能刻蚀抛光液，其特征在于：该抛光液包括消泡剂、催化剂和去离子水；所述的消泡剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、异十三醇磷酸酯、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚和聚氧丙烯甘油醚；所述的催化剂为醋酸；各成分按质量百分比为：消泡剂1～30wt％；催化剂1～30wt％；其余成分为去离子水所组成。
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